MEMS气体传感器微热板仿真设计及气敏性能研究

张伟岩; 岳宏; 刘继江; 尹春岳; 孙略升; 王烜赫

doi:10.13873/J.1000-9787(2022)05-0036-03

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

MEMS气体传感器微热板仿真设计及气敏性能研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- MEMS气体传感器微热板仿真设计及气敏性能研究
- MEMS气体传感器微热板仿真设计及气敏性能研究
- 传感器与微系统 2022年第5期页码：36-38+43
- 作者机构：
  
  中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)05-0036-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
移动端阅览
张伟岩, 岳宏, 刘继江, 等. MEMS气体传感器微热板仿真设计及气敏性能研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(5):36-38+43.

MEMS气体传感器微热板仿真设计及气敏性能研究[J]. 2022, (5): 36-38+43.
张伟岩, 岳宏, 刘继江, 等. MEMS气体传感器微热板仿真设计及气敏性能研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(5):36-38+43. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)05-0036-03.

MEMS气体传感器微热板仿真设计及气敏性能研究[J]. 2022, (5): 36-38+43. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)05-0036-03.

摘要

通过Ansys仿真分析，对微机电系统（MEMS）气体传感器悬膜式微热板整体结构进行优化，有效地降低热串扰，减少加热层向硅基底的热量传导，从而降低传感器的功耗；并设计圆弧应力匀散结构，降低微热板的热应力。测试气敏结果表明：该传感器对NO

具有较好的响应和恢复特性，检测下限达到0.1×10

-6

并且与NO

体积分数有良好的线性关系。

Abstract

具有较好的响应和恢复特性，检测下限达到0.1×10

-6

并且与NO

体积分数有良好的线性关系。

关键词

Keywords

references

微热板气体传感器外围专用集成电路设计 [D]. 李宝玲. 大连理工大学 2020

用于MEMS气体传感器的检测芯片设计与实现 [D]. 陈闽强. 中国科学技术大学 2019

微机电系统（MEMS）原理、设计和分析[M]. 西安电子科技大学出版社 , 田文超, 2009

Two operating modes of palladium film hydrogen sensor based on suspended micro hotplate [J] . Qi Liu,Jinyuan Yao,Yongjin Wu,Yipin Wang,Guifu Ding. International Journal of Hydrogen Energy . 2019 (21)

Design and fabrication of a CMOS-compatible MHP gas sensor [J] . Ying Li,Jun Yu,Hao Wu,Zhenan Tang. AIP Advances . 2014 (3)

Tin oxide gas sensor fabricated using CMOS micro-hotplates and in-situ processing [J] . Suehle J.S.,Cavicchi R.E.. IEEE Electron Device Letters . 1993 (3)

浏览量

586

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

暂无数据