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纸质出版:2022
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王国东, 杨林林, 马鸿雁, 等. 磁控溅射制备ZnO/p-Si薄膜异质结的室温气敏特性[J]. 传感器与微系统, 2022,(5):27-30.
磁控溅射制备ZnO/p-Si薄膜异质结的室温气敏特性[J]. 2022, (5): 27-30.
王国东, 杨林林, 马鸿雁, 等. 磁控溅射制备ZnO/p-Si薄膜异质结的室温气敏特性[J]. 传感器与微系统, 2022,(5):27-30. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)05-0027-04.
磁控溅射制备ZnO/p-Si薄膜异质结的室温气敏特性[J]. 2022, (5): 27-30. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)05-0027-04.
采用磁控溅射方法在p型Si衬底上制备ZnO纳米薄膜并形成异质结。在溅射气压分别为0.1
1.0
5.0 Pa时制备了不同形貌的ZnO纳米薄膜,并详细分析了ZnO薄膜的表面形貌、结晶质量对异质结I-V特性和室温气敏特性的影响。结果表明:溅射气压为5 Pa时,ZnO薄膜的结晶质量最好,异质结的气敏性能最佳。室温下,在18×10
-3
的乙醇气体中,当外加偏置电压为18.4 V时,其电流灵敏度最高可达617%。
采用磁控溅射方法在p型Si衬底上制备ZnO纳米薄膜并形成异质结。在溅射气压分别为0.1
1.0
5.0 Pa时制备了不同形貌的ZnO纳米薄膜,并详细分析了ZnO薄膜的表面形貌、结晶质量对异质结I-V特性和室温气敏特性的影响。结果表明:溅射气压为5 Pa时,ZnO薄膜的结晶质量最好,异质结的气敏性能最佳。室温下,在18×10
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的乙醇气体中,当外加偏置电压为18.4 V时,其电流灵敏度最高可达617%。
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