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电容式微机械超声换能器振膜设计与声学辐射研究
研究与探讨 | 更新时间:2025-09-11
    • 电容式微机械超声换能器振膜设计与声学辐射研究

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   2022年第4期 页码:10-13
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2022)04-0010-04    

      中图分类号: TB552
    • 纸质出版:2022

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  • 高鹏飞, 何常德, 张彦军, 等. 电容式微机械超声换能器振膜设计与声学辐射研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(4):10-13. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)04-0010-04.

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