跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究

李志鹏; 孟旭; 王博男; 张超

doi:10.13873/J.1000-9787(2022)03-0032-04

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究
- 跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究
- 传感器与微系统 2022年第3期页码：32-35
- 作者机构：
  
  东北林业大学交通学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)03-0032-04
  中图分类号： TN65
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
移动端阅览
李志鹏, 孟旭, 王博男, 等. 跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(3):32-35.

跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究[J]. 2022, (3): 32-35.
李志鹏, 孟旭, 王博男, 等. 跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(3):32-35. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)03-0032-04.

跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究[J]. 2022, (3): 32-35. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)03-0032-04.

摘要

利用COMSOL有限元软件建立了复合膜声表面波（SAW）器件结构，并将通常使用的平面叉指换能器（IDT）更新为跨层布局形式。通过COMSOL软件对新结构进行了模态分析与频率响应分析，计算了机电耦合系数，研究了异性电极间距与同性电极间距的改变对复合膜SAW器件产生的影响。结果表明：跨层IDT布局形式，可以在现有制备条件与水平不变的前提下，大幅度降低器件尺寸，提高特征频率。

Abstract

关键词

Keywords

references

SAW微压力传感器及其双频微带天线设计 [J]. 许浩源,李媛媛,马连杰. 传感器与微系统 . 2021(09)

薄膜型声表面波器件的研究进展 [J]. 赵程,周佳成,袁淑雅,邓丽城,王德波. 微电子学 . 2021(04)

压电单晶薄膜衬底光刻工艺研究 [J]. 唐代华,潘祺,米佳,冷俊林,唐塽,何西良,黎妮. 压电与声光 . 2021(04)

128°YX-LiNbO 3 表面声波谐振器的有限元仿真 [J]. 燕兴,刘卫国,周顺,孙雪平,石冰. 西安工业大学学报 . 2017(04)

IDT结构优化及SAW器件研究 [D]. 李开璇. 天津理工大学 2021

Effect of the Aperture of an Interdigital Transducer on the Characteristics of Its Output Signal in a Piezoelectric Plate [J] . I. E. Kuznetsova,A. V. Smirnov,Yu. V. Plekhanova,A. N. Reshetilov,G.-J. Wang. Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics . 2020 (6)

浏览量

227

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

暂无数据