纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法

苗晋威; 杨沙沙; 齐秉楠; 乔庆宇; 刘国昌; 王任鑫

doi:10.13873/J.1000-9787(2022)03-0028-04

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纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法
- 纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法
- 传感器与微系统 2022年第3期页码：28-31
- 作者机构：
  
  中北大学省部共建动态技术测试国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)03-0028-04
  中图分类号： TB565.1
- 纸质出版：2022
- 稿件说明：
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苗晋威, 杨沙沙, 齐秉楠, 等. 纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法[J]. 传感器与微系统, 2022,(3):28-31.

纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法[J]. 2022, (3): 28-31.
苗晋威, 杨沙沙, 齐秉楠, 等. 纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法[J]. 传感器与微系统, 2022,(3):28-31. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)03-0028-04.

纤毛—硅柱结构MEMS二维矢量水听器设计与制备方法[J]. 2022, (3): 28-31. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)03-0028-04.

摘要

微机电系统（MEMS）矢量水听器在使用中会受到平台运动、海浪、洋流等冲击的干扰从而影响对目标声源的探测。为实现水听器的精准探测，提出了一种纤毛—硅柱结构的可抑制振动噪声的矢量水听器。设计了一种力矩平衡结构，利用COMSOL软件对矢量水听器的参数构建有限元分析模型，并对其静态分析、模态分析以及谐响应分析仿真。结果表明：矢量水听器灵敏度为-184.35 dB;可在0～100 g

载荷内正常工作；在工作带宽20～1 000 Hz内能有效降低振动噪声带来的干扰。随后提出一种基于MEMS技术的可批量制造工艺，可确保硅柱与水听器的一体化集成，可极大提高矢量水听器的一致性。

Abstract

关键词

Keywords

references

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