中北大学信息与通信工程学院 2. 中北大学前沿交叉科学研究院 3. 中北大学仪器与电子学院
纸质出版:2022
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宫美梅, 王策, 金丽, 等. 抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计[J]. 传感器与微系统, 2022,(3):20-23+31.
抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计[J]. 2022, (3): 20-23+31.
宫美梅, 王策, 金丽, 等. 抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计[J]. 传感器与微系统, 2022,(3):20-23+31. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)03-0020-04.
抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计[J]. 2022, (3): 20-23+31. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)03-0020-04.
为了解决纳米光栅加速度计交叉轴干扰的问题,提出了一种原理可行、工艺可行的加速度计结构设计及加工方法。首先,介绍了双光栅加速度计的工作原理及结构组成,通过Ansys结构仿真和COMSOL双光栅仿真,验证了交叉轴干扰对双光栅离面加速度计性能测试不可忽略的影响。其次,提出了一种抗交叉轴干扰、且工艺简单的加速度计结构。仿真结果表明:该结构能有效避免交叉轴干扰,且具有较高的结构灵敏度。最后,基于SOI片对双光栅离面加速度计的加工方案进行完整描述,验证了这种加速度计加工方法的可行性及易操作性,为抗交叉轴干扰的离面加速度计设计和制作提供了思路。
为了解决纳米光栅加速度计交叉轴干扰的问题,提出了一种原理可行、工艺可行的加速度计结构设计及加工方法。首先,介绍了双光栅加速度计的工作原理及结构组成,通过Ansys结构仿真和COMSOL双光栅仿真,验证了交叉轴干扰对双光栅离面加速度计性能测试不可忽略的影响。其次,提出了一种抗交叉轴干扰、且工艺简单的加速度计结构。仿真结果表明:该结构能有效避免交叉轴干扰,且具有较高的结构灵敏度。最后,基于SOI片对双光栅离面加速度计的加工方案进行完整描述,验证了这种加速度计加工方法的可行性及易操作性,为抗交叉轴干扰的离面加速度计设计和制作提供了思路。
一种高灵敏度低噪声硅微谐振式加速度计 [J]. 邹旭东,熊兴崟,汪政,王坤锋,杨伍昊,李志天. 中国惯性技术学报 . 2021(03)
0.3 ng/Hz 1/2 超高灵敏度MEMS加速度计研究进展 [J]. 王秋,刘骅锋,许强伟,宋萧萧,严世涛,涂良成. 中国惯性技术学报 . 2020(01)
一种低交叉轴灵敏度微米光栅加速度计设计 [J]. 高山,冯丽爽,周震,邓柯柯. 半导体光电 . 2020(01)
基于隧道磁阻效应的单轴加速度计研究 [J]. 王斌龙,杨波. 传感器与微系统 . 2019(07)
基于加速度计的智能网联汽车驾驶行为建模方法 [J]. 宋海娜. 移动通信 . 2019(04)
加速度计横向灵敏度测试方法综述[J]. 董蒙蒙,王颖,蔡晨光,刘志华. 计量技术. 2017 (11)
某型加速度计装配技术问题研究及对策 [J]. 张永军,王雅泉,白光. 中国军转民 . 2015(01)
基于MEMS惯性传感器的人体步态分析关键技术研究 [D]. 白桂峰. 中北大学 2020
光纤捷联航姿系统初始对准及现场标定技术研究 [D]. 郑振宇. 哈尔滨工程大学 2016
多旋翼无人机的姿态与导航信息融合算法研究 [D]. 张欣. 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2015
微光学集成的高精度MOEMS加速度传感器研究 [D]. 赵双双. 浙江大学 2013
光纤捷联航姿系统信号处理与姿态算法研究 [D]. 祝燕华. 南京航空航天大学 2008
可穿戴实时诊断、报警、移动健康监护系统 [D]. 郑捷文. 中国人民解放军军事医学科学院 2008
基于光电容积脉搏波的穿戴式多生命体征参数采集系统 [D]. 钟一舟. 浙江大学 2017
基于加速度计的人体运动能量损耗研究 [D]. 萨楚如拉图. 哈尔滨工程大学 2016
Design Issues of Piezoresistive MEMS Accelerometer for an Application Specific Medical Diagnostic System [J] . Sonali Biswas,Anup Kumar Gogoi. IETE Technical Review . 2016 (1)
Design and fabrication of a MEMS capacitive accelerometer with fully symmetrical double-sided H-shaped beam structure [J] . Xiaofeng Zhou,Lufeng Che,Shenglin Liang,Youling Lin,Xiaolin Li,Yuelin Wang. Microelectronic Engineering . 2015
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