东北林业大学交通学院
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李志鹏, 孟旭, 王博男, 等. 多层SAW器件叉指换能器错层布局研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(2):14-16+20.
多层SAW器件叉指换能器错层布局研究[J]. 2022, (2): 14-16+20.
李志鹏, 孟旭, 王博男, 等. 多层SAW器件叉指换能器错层布局研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(2):14-16+20. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)02-0014-03.
多层SAW器件叉指换能器错层布局研究[J]. 2022, (2): 14-16+20. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)02-0014-03.
利用COMSOL软件建立了采用平层叉指换能器(IDT)布局及错层IDT布局的两种多层声表面波(SAW)器件模型
通过有限元法分别计算了两种模型在不同的薄膜层厚度、电极间距条件下的特征频率、机电耦合系数以及导纳比
并将这些结果进行了对比分析。结果表明:采用错层IDT布局的多层SAW器件在保证器件性能的条件下
结构尺寸可以缩小一倍
同时也降低了继续提高多层SAW器件特征频率的难度。
利用COMSOL软件建立了采用平层叉指换能器(IDT)布局及错层IDT布局的两种多层声表面波(SAW)器件模型
通过有限元法分别计算了两种模型在不同的薄膜层厚度、电极间距条件下的特征频率、机电耦合系数以及导纳比
并将这些结果进行了对比分析。结果表明:采用错层IDT布局的多层SAW器件在保证器件性能的条件下
结构尺寸可以缩小一倍
同时也降低了继续提高多层SAW器件特征频率的难度。
声表面波传感器在汽车电子领域的潜在应用研究 [J]. 李志鹏,孟旭,王国锐,赵青青. 传感器与微系统 . 2021(04)
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Electrothermal Modeling of Surface Acoustic Wave Resonators and Filters. [J] . Akstaller Wolfgang,Weigel Robert,Hagelauer Amelie. IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control . 2020
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