陆军工程大学国防工程学院
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刘智荣, 谢立强, 朱敏, 等. 基于SiO2/ZnO/SiO2/SiC复合结构瑞利波谐振器设计[J]. 传感器与微系统, 2022,(1):75-77.
基于SiO2/ZnO/SiO2/SiC复合结构瑞利波谐振器设计[J]. 2022, (1): 75-77.
刘智荣, 谢立强, 朱敏, 等. 基于SiO2/ZnO/SiO2/SiC复合结构瑞利波谐振器设计[J]. 传感器与微系统, 2022,(1):75-77. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)01-0075-03.
基于SiO2/ZnO/SiO2/SiC复合结构瑞利波谐振器设计[J]. 2022, (1): 75-77. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)01-0075-03.
采用有限元法建立了ZnO/SiC
ZnO/SiO
2
/SiC和SiO
2
/ZnO/SiC这3种不同复合结构模型
仿真分析了ZnO薄膜厚度一定的情况下
不同厚度SiO
2
薄膜对谐振器瑞利波相速度、机电耦合系数的影响
并根据分析结果设计出了基于SiO
2
/ZnO/SiO
2
/SiC复合结构瑞利波谐振器的具体尺寸。结果表明:设计的谐振器激发出的瑞利波相速度为7 268.1 m/s
且器件具有3.52%的高机电耦合系数。
采用有限元法建立了ZnO/SiC
ZnO/SiO
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/SiC和SiO
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/ZnO/SiC这3种不同复合结构模型
仿真分析了ZnO薄膜厚度一定的情况下
不同厚度SiO
2
薄膜对谐振器瑞利波相速度、机电耦合系数的影响
并根据分析结果设计出了基于SiO
2
/ZnO/SiO
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/SiC复合结构瑞利波谐振器的具体尺寸。结果表明:设计的谐振器激发出的瑞利波相速度为7 268.1 m/s
且器件具有3.52%的高机电耦合系数。
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