上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
纸质出版:2022
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仲逸飞, 刘景全. Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(1):7-9+14.
Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究[J]. 2022, (1): 7-9+14.
仲逸飞, 刘景全. Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究[J]. 传感器与微系统, 2022,(1):7-9+14. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)01-0007-03.
Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究[J]. 2022, (1): 7-9+14. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)01-0007-03.
以Evanohm合金为材料
设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜
并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化
以此作为加热器的加热元件。在常温下
研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性
并在深低温下进一步测试了其电学性能。研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定。在[5
300
]
K的温度区间内
加热器的电阻值变化不超过2%;在40 K的温度
电阻值达到Kondo最小值;在[35
55
]
K的温度区间
温度系数降至8.9×10
-6
K
-1
。器件可在较宽低温区保持良好的电阻值稳定性
具有在低温环境中应用的潜力。
以Evanohm合金为材料
设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜
并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化
以此作为加热器的加热元件。在常温下
研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性
并在深低温下进一步测试了其电学性能。研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定。在[5
300
]
K的温度区间内
加热器的电阻值变化不超过2%;在40 K的温度
电阻值达到Kondo最小值;在[35
55
]
K的温度区间
温度系数降至8.9×10
-6
K
-1
。器件可在较宽低温区保持良好的电阻值稳定性
具有在低温环境中应用的潜力。
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Optimization of sputtering parameters for Ni–Cr alloy deposition on copper foil as embedded thin film resistor [J] . Lifei Lai,Wenjin Zeng,Xianzhu Fu,Rong Sun,Ruxu Du. Surface & Coatings Technology . 2013
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Ni–Cr-Based Thin-Film Cryoresistors [J] . Satrapinski, A. F.,Savin, A. M.,Novikov, S.,Hahtela, O. M.. IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement . 2009 (4)
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Resistors for precision low-temperature measurements [J] . V. V. Kukhar’,M. I. Suvorova. Measurement Techniques . 1993 (1)
Improved cryoresistors with low temperature coefficients [J] . Warnecke P.,Braun E.. IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement . 1989 (2)
Structural and electrical properties of stable ni/cr thin films [J] . C. L. Au,M. A. Jackson,W. A. Anderson. Journal of Electronic Materials . 1987 (4)
Principal Limitations in the Temperature Coefficients of Nonmagnetic Copper-Based Cryogenic Resistance Alloys [J] . Warnecke Peter,Braun Erich. IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement . 1985 (2)
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