柔性阵列式压力传感器的制备研究

刘双斌; 秦会斌

doi:10.13873/J.1000-9787(2021)09-0034-03

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柔性阵列式压力传感器的制备研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 柔性阵列式压力传感器的制备研究
- Research on preparation of flexible array pressure sensor
- 传感器与微系统 2021年第9期页码：34-36+40
- 作者机构：
  
  杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  浙江省科技计划资助项目(2017C01027)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)09-0034-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2021
- 稿件说明：
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刘双斌, 秦会斌. 柔性阵列式压力传感器的制备研究[J]. 传感器与微系统, 2021,(9):34-36+40.

LIU Shuangbin, QIN Huibin. Research on preparation of flexible array pressure sensor[J]. 2021, (9): 34-36+40.
刘双斌, 秦会斌. 柔性阵列式压力传感器的制备研究[J]. 传感器与微系统, 2021,(9):34-36+40. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2021)09-0034-03.

LIU Shuangbin, QIN Huibin. Research on preparation of flexible array pressure sensor[J]. 2021, (9): 34-36+40. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2021)09-0034-03.

摘要

在对压力信号的实际检测中

施加压力值的大小

压力的分布范围都是重要的检测数据。以纳米级乙炔炭黑、镀银玻璃微球作为导电填料

107硅橡胶作为基体材料

制备出压敏硅橡胶。以丝网印刷工艺制备出柔性电极阵列。最后

将压敏硅橡胶和柔性电极封装在一起

制备出三明治结构的10×10阵列式压力传感器。结果表明:制备出的柔性传感器尺寸小、密度大、成本低

可以实现压力大小和分布的检测。

Abstract

In actual detection of pressure signal

magnitude of the applied pressure value and distribution of the pressure are all important test data.Nano-sized acetylene blacks and silver-plated glass microspheres are used as conductive fillers

and 107 silicone rubber is used as base material to prepare pressure sensitive silicone rubber. A flexible electrode array is prepared by screen printing process. Finally

the pressure sensitive silicone rubber and the flexible electrode are packaged together to prepare a sandwich structured 10×10 array pressure sensor.The results show that the prepared flexible sensor has small size

high density and low cost

and can realize the detection of the size and distribution of pressure.

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