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硅微谐振式加速度计温漂补偿研究
研究与探讨 | 更新时间:2025-09-11
    • 硅微谐振式加速度计温漂补偿研究

    • Study on temperature drift compensation on silicon micro resonant accelerometer

    • 传感器与微系统   2021年第5期 页码:8-11
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2021)05-0008-04    

      中图分类号: TH824.4;TP212
    • 纸质出版:2021

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  • 张含, 丁徐锴, 李宏生. 硅微谐振式加速度计温漂补偿研究[J]. 传感器与微系统, 2021,(5):8-11. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)05-0008-04.

    ZHANG Han, DING Xukai, LI Hongsheng. Study on temperature drift compensation on silicon micro resonant accelerometer[J]. 2021, (5): 8-11. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)05-0008-04.

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