In<sub>0.3</sub>Ga<sub>0.7</sub>As多层耦合表面量子点气敏特性分析

刘增光; 杨莹丽; 王国东; 王俊君; 杨林林; 璩光明

doi:10.13873/J.1000-9787(2021)05-0005-03

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In_0.3Ga_0.7As多层耦合表面量子点气敏特性分析

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- In_0.3Ga_0.7As多层耦合表面量子点气敏特性分析
- Gas sensitive characteristics analysis of In_0.3Ga_0.7As multilayer coupling SQDs
- 传感器与微系统 2021年第5期页码：5-7+14
- 作者机构：
  
  1. 河南理工大学电气工程与自动化学院
  2. 河南理工大学分析测试中心
  3. 河南理工大学物理与电子信息学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(U1804165,61774053);河南省国际合作项目(182102410047);河南理工大学科研计划资助项目(NSFRF140116,B2014—020)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)05-0005-03
  中图分类号： TB383.1
- 纸质出版：2021
- 稿件说明：
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刘增光, 杨莹丽, 王国东, 等. In_0.3Ga_0.7As多层耦合表面量子点气敏特性分析[J]. 传感器与微系统, 2021,(5):5-7+14.

LIU Zengguang, YANG Yingli, WANG Guodong, et al. Gas sensitive characteristics analysis of In_0.3Ga_0.7As multilayer coupling SQDs[J]. 2021, (5): 5-7+14.
刘增光, 杨莹丽, 王国东, 等. In_0.3Ga_0.7As多层耦合表面量子点气敏特性分析[J]. 传感器与微系统, 2021,(5):5-7+14. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2021)05-0005-03.

LIU Zengguang, YANG Yingli, WANG Guodong, et al. Gas sensitive characteristics analysis of In_0.3Ga_0.7As multilayer coupling SQDs[J]. 2021, (5): 5-7+14. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2021)05-0005-03.

摘要

详细分析了不同激光功率下

沉积在5层掩埋量子点（BQDs）层上的In

0.3

0.7

As表面量子点（SQDs）的气敏特性。结果表明

SQDs的存在和光照是样品具有气敏性的两个关键条件。激光功率越强

样品的气敏性越好。同时

SQDs耦合结构中

GaAs隔离层厚度越薄

样品的气敏性能越好

表明SQDs层与BQDs层之间存在的载流子跃迁对耦合结构的气敏特性具有十分重要的影响。该研究结果表明:In

0.3

0.7

As SQDs在气敏传感器领域有广阔的应用前景。

Abstract

A detailed analysis of the different laser powers on gas sensing properties of the In

0.3

0.7

As surface quantum dots（SQDs） stacked on five buried quantum dots（BQDs） layers is carried out.The results show that the presence of SQDs and illumination are two key requirements for the gas sensitivity of the samples.The stronger the laser power

the better the gas sensitivity of the samples.At the same time

in the SQDs coupling structure

the thinner the thickness of GaAs isolation layer

the better the gas sensing performance of the samples.It is shown that the carrier transition between the SQDs layer and the BQDs layer has a very important influence on the gas sen

sing properties of the coupling structure.The results make In

0.3

0.7

As SQDs very promising for the development of gas sensors.

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In0.3Ga0.7As多层耦合表面量子点气敏特性分析

Gas sensitive characteristics analysis of In0.3Ga0.7As multilayer coupling SQDs

DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)05-0005-03

摘要

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In_0.3Ga_0.7As多层耦合表面量子点气敏特性分析

Gas sensitive characteristics analysis of In_0.3Ga_0.7As multilayer coupling SQDs