恒温压动态法气体微小流量标准装置的研制

黄震威; 潘国兵; 王文林; 欧阳静; 陈金鑫

doi:10.13873/J.1000-9787(2021)02-0083-03

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恒温压动态法气体微小流量标准装置的研制

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 恒温压动态法气体微小流量标准装置的研制
- Research and fabrication of micro-gas flow standard facility based on constant temperature and pressure dynamic method
- 传感器与微系统 2021年第2期页码：83-85+88
- 作者机构：
  
  1. 浙江工业大学机械工程学院
  2. 浙江省计量科学研究院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  浙江省重大科技专项基金资助项目(2013C01137)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)02-0083-03
  中图分类号： TH814
- 纸质出版：2021
- 稿件说明：
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黄震威, 潘国兵, 王文林, 等. 恒温压动态法气体微小流量标准装置的研制[J]. 传感器与微系统, 2021,(2):83-85+88.

HUANG Zhenwei, PAN Guobing, WANG Wenlin, et al. Research and fabrication of micro-gas flow standard facility based on constant temperature and pressure dynamic method[J]. 2021, (2): 83-85+88.
黄震威, 潘国兵, 王文林, 等. 恒温压动态法气体微小流量标准装置的研制[J]. 传感器与微系统, 2021,(2):83-85+88. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2021)02-0083-03.

HUANG Zhenwei, PAN Guobing, WANG Wenlin, et al. Research and fabrication of micro-gas flow standard facility based on constant temperature and pressure dynamic method[J]. 2021, (2): 83-85+88. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2021)02-0083-03.

摘要

随着所操控流体的量级等级的升高

精准的流体计量在微小流量计量仪表的溯源上愈加困难。针对该问题

提出了一种基于主动恒温压零平衡动态检定原理的微小气体流量溯源方法。基于该方法研制了流量检定标准装置

设计了双活塞驱动的机械结构以及一种基于Lab VIEW和PLC的检定系统软硬件

并对装置进行了不确定度评定。实验结果表明:基于所提方法的标准流量装置能较好地维持检定过程中流量和状态参数的稳定

其检定不确定度优于0.3%

可满足微小气体流量仪表的检定或校准要求。

Abstract

In order to resolve the traceability issue in micro-gas flow instrument

a micro-gas flow traceability method based on the principle of active constant temperature and pressure

and zero balancing dynamic verification is proposed. The standard facility of flow verification is developed based on the method. Double-piston drived mechanical structure

software and hardware of verification system

based on Lab VIEW platform and PLC are designed. Uncertainty evaluation on the devices is conducted as well. Experimental results show that the standard flow facility can maintain stability of flow and state parameter during verification

the uncertainty of verification is prior to 0. 3 %

which can meet the requirements of verification or calibration for micro-gas flow instrument.

关键词

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