金属氧化物半导体SO<sub>2</sub>气体传感器的研究现状

刘航; 王秋晨; 于兰伊; 王林康

doi:10.13873/J.1000-9787(2021)02-0001-03

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金属氧化物半导体SO₂气体传感器的研究现状

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- 金属氧化物半导体SO₂气体传感器的研究现状
- Research status of SO₂ gas sensors based on metal oxide semiconductor
- 传感器与微系统 2021年第2期页码：1-3+11
- 作者机构：
  
  吉林建筑大学电气与计算机学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)02-0001-03
  中图分类号： TN304;TP212
- 纸质出版：2021
- 稿件说明：
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刘航, 王秋晨, 于兰伊, 等. 金属氧化物半导体SO₂气体传感器的研究现状[J]. 传感器与微系统, 2021,(2):1-3+11.

LIU Hang, WANG Qiuchen, YU Lanyi, et al. Research status of SO₂ gas sensors based on metal oxide semiconductor[J]. 2021, (2): 1-3+11.
刘航, 王秋晨, 于兰伊, 等. 金属氧化物半导体SO₂气体传感器的研究现状[J]. 传感器与微系统, 2021,(2):1-3+11. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2021)02-0001-03.

LIU Hang, WANG Qiuchen, YU Lanyi, et al. Research status of SO₂ gas sensors based on metal oxide semiconductor[J]. 2021, (2): 1-3+11. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2021)02-0001-03.

摘要

介绍了气敏机理

总结了近年来国内外基于金属氧化物半导体的SO

气敏材料的研究现状

指出了基于金属氧化物半导体SO

气体传感器的不足之处

提出设计复合材料、优化合成方法是提高SO

气敏材料敏感特性的研究方向。

Abstract

Gas sensing mechanism is introduced. Research status of SO

gas sensitive material based on metal oxide semiconductor in recent years is reviewed. Disadvantage of Sn O2 gas sensors based on metal oxide semiconductor are pointed out. Improving sensitive properties of SO

gas sensitive materials

designing composite materials and optimizing synthesis method are the research directions.

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金属氧化物半导体SO2气体传感器的研究现状

Research status of SO2 gas sensors based on metal oxide semiconductor

DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)02-0001-03

摘要

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金属氧化物半导体SO₂气体传感器的研究现状

Research status of SO₂ gas sensors based on metal oxide semiconductor