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硅微谐振式加速度计电路带宽测试方法研究
研究与探讨 | 更新时间:2025-09-11
    • 硅微谐振式加速度计电路带宽测试方法研究

    • Research on circuit bandwidth measurement method of silicon micro-resonant accelerometer

    • 传感器与微系统   2020年第8期 页码:20-22
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2020)08-0020-03    

      中图分类号: TH824.4
    • 纸质出版:2020

    移动端阅览

  • 范书聪, 张基强, 黄丽斌, 等. 硅微谐振式加速度计电路带宽测试方法研究[J]. 传感器与微系统, 2020,(8):20-22. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)08-0020-03.

    FAN Shucong, ZHANG Jiqiang, HUANG Libin, et al. Research on circuit bandwidth measurement method of silicon micro-resonant accelerometer[J]. 2020, (8): 20-22. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)08-0020-03.

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