压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望

宋国庆; 邹向光; 王万生; 邵志强; 王伟

doi:10.13873/J.1000-9787(2020)08-0004-05

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压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- 压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望
- Development status and prospect of piezoelectric resonant vacuum sensors and vacuum gauges
- 传感器与微系统 2020年第8期页码：4-8
- 作者机构：
  
  中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家高技术研究发展计划(“863”计划)资助项目(2015AA043505)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)08-0004-05
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2020
- 稿件说明：
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宋国庆, 邹向光, 王万生, 等. 压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望[J]. 传感器与微系统, 2020,(8):4-8.

SONG Guoqing, ZOU Xiangguang, WANG Wansheng, et al. Development status and prospect of piezoelectric resonant vacuum sensors and vacuum gauges[J]. 2020, (8): 4-8.
宋国庆, 邹向光, 王万生, 等. 压电谐振式真空传感器及真空计的发展现状及其展望[J]. 传感器与微系统, 2020,(8):4-8. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2020)08-0004-05.

SONG Guoqing, ZOU Xiangguang, WANG Wansheng, et al. Development status and prospect of piezoelectric resonant vacuum sensors and vacuum gauges[J]. 2020, (8): 4-8. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2020)08-0004-05.

摘要

评述了真空计的主要类型、结构、压电谐振式真空传感器(PRVS)工作机制、特点、应用、关键技术、技术不足和其发展现状

并根据目前某些关键技术的突破

梳理了单体式、组合式压电谐振式真空计的成果。按照对国内、外文献的技术跟踪和市场的调研

对PRVS的发展趋势进行了初步预测。

Abstract

Main types

structures

working mechanism

characteristics

applications

key technologies

technical shortcomings and development status of piezoelectric resonant vacuum sensor（ PRVS） are reviewed. According to breakthroughs in some key technologies

achievements of single and combined piezoelectric resonant vacuum gauges are reviewed. Based on the technical tracking of domestic and foreign literatures and market research

preliminary forecast of development trend of PRVS is made.

关键词

Keywords

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