柔性湿度传感器制作技术研究

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柔性湿度传感器制作技术研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 柔性湿度传感器制作技术研究
- 暂无标题
- 传感器与微系统 2020年第5期页码：45-47
- 作者机构：
  
  中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)05-0045-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2020
- 稿件说明：
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张巍, 王洋洋, 秦浩, 等. 柔性湿度传感器制作技术研究[J]. 传感器与微系统, 2020,(5):45-47.
张巍, 王洋洋, 秦浩, 等. 柔性湿度传感器制作技术研究[J]. 传感器与微系统, 2020,(5):45-47. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2020)05-0045-03.

DOI：

摘要

在聚酰亚胺柔性衬底上采用微机电系统(MEMS)加工技术制作了用于智能可穿戴系统的柔性湿度传感器

传感器具有耐弯折、可穿戴、测量精度高、响应时间短的优点。实验采用湿度发生器、盐箱、LCR电桥对传感器的容值、输出特性、响应时间进行了检测分析。分析结果表明:该柔性湿敏电容对人体皮肤及环境湿度响应良好

传感器输出值与相对湿度呈现良好的线性关系

线性相关系数0. 999

湿度检测范围(10～90)%RH

非线性0. 79%RH

响应时间6 s。实验采用的MEMS加工工艺技术成熟

可以实现批量生产。

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