基于PZT薄膜的微系统器件研究进展

于海超; 尚瑛琦; 刘智辉; 张岩

doi:10.13873/J.1000-9787(2020)05-0001-03

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基于PZT薄膜的微系统器件研究进展

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- 基于PZT薄膜的微系统器件研究进展
- Research progress of microsystem devices based on PZT thin film
- 传感器与微系统 2020年第5期页码：1-3+10
- 作者机构：
  
  中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)05-0001-03
  中图分类号： TH-39
- 纸质出版：2020
- 稿件说明：
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于海超, 尚瑛琦, 刘智辉, 等. 基于PZT薄膜的微系统器件研究进展[J]. 传感器与微系统, 2020,(5):1-3+10.

YU Haichao, SHANG Yingqi, LIU Zhihui, et al. Research progress of microsystem devices based on PZT thin film[J]. 2020, (5): 1-3+10.
于海超, 尚瑛琦, 刘智辉, 等. 基于PZT薄膜的微系统器件研究进展[J]. 传感器与微系统, 2020,(5):1-3+10. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2020)05-0001-03.

YU Haichao, SHANG Yingqi, LIU Zhihui, et al. Research progress of microsystem devices based on PZT thin film[J]. 2020, (5): 1-3+10. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2020)05-0001-03.

摘要

对当前基于锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)薄膜微系统器件的研究进展进行了综述

对PZT传感器、PZT能量收集器、PZT驱动器的研究进展以及采用不同工艺PZT薄膜的制备技术进行了阐述。对基于PZT薄膜微系统(MEMS)器件的发展趋势进行了展望。

Abstract

Research progress of micro-electro-mechanical system（ MEMS） devices based on PZT thin film is reviewed. The research progress of PZT sensor

PZT energy collector

PZT driver and fabrication technology of PZT thin film by using different processes are described. The development trend of MEMS devices based on PZT thin film is prospected.

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