石墨烯基SnO<sub>x</sub>-Sn气体传感器灵敏度影响因素研究

袁雨桐; 杨洋飞飞; 赵艺远; 黄文杰; 谢海芬

doi:10.13873/J.1000-9787(2019)08-0005-04

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石墨烯基SnO_x-Sn气体传感器灵敏度影响因素研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 石墨烯基SnO_x-Sn气体传感器灵敏度影响因素研究
- Study on influencing factors of graphene-based SnO_x-Sn sensors gas sensitivity
- 传感器与微系统 2019年第8期页码：5-8
- 作者机构：
  
  华东理工大学理学院物理系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)08-0005-04
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2019
- 稿件说明：
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袁雨桐, 杨洋飞飞, 赵艺远, 等. 石墨烯基SnO_x-Sn气体传感器灵敏度影响因素研究[J]. 传感器与微系统, 2019,(8):5-8.

YUAN Yutong, YANG Yangfeifei, ZHAO Yiyuan, et al. Study on influencing factors of graphene-based SnO_x-Sn sensors gas sensitivity[J]. 2019, (8): 5-8.
袁雨桐, 杨洋飞飞, 赵艺远, 等. 石墨烯基SnO_x-Sn气体传感器灵敏度影响因素研究[J]. 传感器与微系统, 2019,(8):5-8. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)08-0005-04.

YUAN Yutong, YANG Yangfeifei, ZHAO Yiyuan, et al. Study on influencing factors of graphene-based SnO_x-Sn sensors gas sensitivity[J]. 2019, (8): 5-8. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)08-0005-04.

摘要

为提高本征石墨烯的气敏特性

将锡和氧化锡薄膜蒸镀在气相沉积法制备的石墨烯表面

制成石墨烯基SnO

-Sn气体传感器

通过原子力显微镜（AFM）、场发射扫描电镜（FESEM）对其表面结构进行表征。并测试了其在室温下对低体积分数甲醛和二氧化氮（NO

）气体的响应特性。研究并分析了膜蒸发速率、基底加热时间、氧气流量对传感器响应灵敏度的影响。

Abstract

In order to improve gas sensing properties of pristine graphene

tin and tin oxide thin-film is deposited by thermal evaporation on the surface of graphene prepared by low pressure chemical vapor deposition（ LPCVD）

and graphene-based SnO

-Sn gas sensors are fabricated. The surface structure of the samples is characterized by atomic force microscopy（ AFM） and field emission scanning electron microscopy（ FESEM）. Meanwhile

test the response characteristic to formaldehyde gas and nitrogen dioxide gas of low volume fraction at room temperature.The effect of film evaporation rate

substrate heating time and oxygen flow on the gas sensitivity is studied and analyzed.

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DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)08-0005-04

摘要

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石墨烯基SnO_x-Sn气体传感器灵敏度影响因素研究

Study on influencing factors of graphene-based SnO_x-Sn sensors gas sensitivity