新型半填充微气相色谱柱芯片研究

田博文; 冯飞; 赵斌; 罗凡; 杨雪蕾; 李昕欣

doi:10.13873/J.1000-9787(2019)06-0005-04

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新型半填充微气相色谱柱芯片研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 新型半填充微气相色谱柱芯片研究
- Research on novel semi-packed micro gas chromatographic column chip
- 传感器与微系统 2019年第6期页码：5-8
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  2. 中国科学院大学
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(91323304,60876081,61172151);国家高技术研究发展“863”计划资助项目(2009AA04Z317)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)06-0005-04
  中图分类号： O657.71
- 纸质出版：2019
- 稿件说明：
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田博文, 冯飞, 赵斌, 等. 新型半填充微气相色谱柱芯片研究[J]. 传感器与微系统, 2019,(6):5-8.

TIAN Bowen, FENG Fei, ZHAO Bin, et al. Research on novel semi-packed micro gas chromatographic column chip[J]. 2019, (6): 5-8.
田博文, 冯飞, 赵斌, 等. 新型半填充微气相色谱柱芯片研究[J]. 传感器与微系统, 2019,(6):5-8. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)06-0005-04.

TIAN Bowen, FENG Fei, ZHAO Bin, et al. Research on novel semi-packed micro gas chromatographic column chip[J]. 2019, (6): 5-8. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)06-0005-04.

摘要

基于微机电系统(MEMS)技术设计制造了新型半填充微气相色谱柱(μGCC)芯片

芯片的微沟道内设计有排列整齐的椭圆微柱阵列。与现有半填充μGCC相比

新型μGCC的微沟道具有更大的表面积和更均匀的流速场分布

对芯片分离度和柱效的提高起着至关重要的作用。设计的芯片成功分离了重烃类混合气体组分和苯系物

理论塔板数最高可达到9 246 plates/m。

Abstract

A novel semi-packed micro-fabricated gas chromatographic column（ μGCC） chip is designed and fabricated based on micro-electro-mechanical systems（ MEMS） technology

and this μGCC chip contains regular micro elliptic cylindrical posts array. Compared with existing semi-packed μGCC

the proposed μGCC has larger surface area and more even velocity field distribution

which play important roles in improving the separation resolution and column efficiency of the chip. Heavy hydrocarbon mixture and benzene series are separated

and the maximum number of theoretical plates are 9 246 plates/m.

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