HTCC电化学H<sub>2</sub>S传感器制备及其性能分析

秦浩; 杨永超; 王洋洋; 刘洋; 刘玺

doi:10.13873/J.1000-9787(2019)05-0087-03

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HTCC电化学H₂S传感器制备及其性能分析

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- HTCC电化学H₂S传感器制备及其性能分析
- Preparation and performance analysis of electrochemical H₂S gas sensor based on HTCC
- 传感器与微系统 2019年第5期页码：87-89
- 作者机构：
  
  中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)05-0087-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2019
- 稿件说明：
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秦浩, 杨永超, 王洋洋, 等. HTCC电化学H₂S传感器制备及其性能分析[J]. 传感器与微系统, 2019,(5):87-89.

QIN Hao, YANG Yongchao, WANG Yangyang, et al. Preparation and performance analysis of electrochemical H₂S gas sensor based on HTCC[J]. 2019, (5): 87-89.
秦浩, 杨永超, 王洋洋, 等. HTCC电化学H₂S传感器制备及其性能分析[J]. 传感器与微系统, 2019,(5):87-89. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)05-0087-03.

QIN Hao, YANG Yongchao, WANG Yangyang, et al. Preparation and performance analysis of electrochemical H₂S gas sensor based on HTCC[J]. 2019, (5): 87-89. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)05-0087-03.

摘要

采用高温共烧陶瓷（HTCC）工艺技术

设计并制备了电化学气体传感器

该传感器具有结构简单、尺寸小、重量轻等特点。运用电化学工作站对传感器的响应特性进行分析

结果显示:所测电化学气体传感器对H

S气体响应良好

在H

S传感器的量程范围（0～100）×10

-6

内

传感器的响应输出值与H

S气体体积分数呈现良好的线性关系

线性相关参数0. 997 55

精度优于±1. 5%FS

传感器对气体的响应速度较快

响应时间τ

不大于10 s。通过匹配不同离子液体可实现不同种类气体的检测。此外

HTCC工艺成熟

可实现传感器的批量化制备。

Abstract

A new type of electrochemical gas sensor is designed and fabricated by using HTCC technology. The prepared sensor has characteristics such as simple structure

small size

light weight

etc. An electrochemical workstation is used to analyze on response characteristics of sensor. The results show that the gas sensor has good response to H

S gas in range of（ 0～ 100） × 10

-6

volume fraction

the gas sensor has a good linear relationship with volume fraction of H

S in the measurement range of the sensor

linear correlation coefficient 0. 997 55

the measurement precision is prior to ± 1. 5 % FS

electrochemical gas sensor has the cha

racteristics of fast response

the response time τ

≤10 s. It can detect different kinds of gases by selecting different ionic liquid. In addition

batch fabrication of sensors can be realized by mature HTCC process.

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HTCC电化学H2S传感器制备及其性能分析

Preparation and performance analysis of electrochemical H2S gas sensor based on HTCC

DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)05-0087-03

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HTCC电化学H₂S传感器制备及其性能分析

Preparation and performance analysis of electrochemical H₂S gas sensor based on HTCC