MEMS薄膜热流传感器研制

李娟; 张丛春; 杨申勇; 丁桂甫; 董威; 段力

doi:10.13873/J.1000-9787(2019)05-0071-03

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

MEMS薄膜热流传感器研制

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- MEMS薄膜热流传感器研制
- Research and fabrication of MEMS thin-film heat flux sensor
- 传感器与微系统 2019年第5期页码：71-73
- 作者机构：
  
  1. 上海交通大学微米/纳米加工技术重点实验室
  2. 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
  3. 上海交通大学机械与动力工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)05-0071-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2019
- 稿件说明：
移动端阅览
李娟, 张丛春, 杨申勇, 等. MEMS薄膜热流传感器研制[J]. 传感器与微系统, 2019,(5):71-73.

LI Juan, ZHANG Congchun, YANG Shenyong, et al. Research and fabrication of MEMS thin-film heat flux sensor[J]. 2019, (5): 71-73.
李娟, 张丛春, 杨申勇, 等. MEMS薄膜热流传感器研制[J]. 传感器与微系统, 2019,(5):71-73. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)05-0071-03.

LI Juan, ZHANG Congchun, YANG Shenyong, et al. Research and fabrication of MEMS thin-film heat flux sensor[J]. 2019, (5): 71-73. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)05-0071-03.

摘要

基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件

对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟

通过对仿真结果对比和分析

优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭建了标定系统

对所制备的MEMS薄膜热流计进行性能测试和标定。实验结果表明:薄膜热流计的电压输出响应曲线的变化趋势和仿真结果一致

此外

薄膜热流计的输出电压和热流密度呈良好的线性关系。

Abstract

Based on micromachining technology

a micro-electro-mechanical system（ MEMS） thin-film thermopile（ TFTP） heat flux senor is designed and fabricated. The property of TFTPs with different structure is modeled and analyzed by FEA COMSOL in order to obtain the best sensor performance with a smaller device dimensions. The MEMS TFTPs are proposed and manufactured based on the optimized design. The testing system has been built to characterize the performance of fabricated TFTPs. It can be found that the output voltage responses are consistent with simulation results when a step heat flux applied. The test results also show that the output voltage of TFTPs responded linearly with heat flux.

关键词

Keywords

references

浏览量

541

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

基于COMSOL三维仿真测定复合材料导热系数

聚酰亚胺隔热悬挂结构设计与制作

基于ZnO/Glass声表面波器件的高速紫外传感特性研究

四电极电化学MEMS加速度传感器仿真

RF MEMS开关在牺牲层工艺上的改进