微液滴注法制备掺杂ZnO传感器及其气敏性能研究

宋振林; 张覃轶; 孟鑫; 姚志伟; 张顺平

doi:10.13873/J.1000-9787(2019)05-0006-04

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微液滴注法制备掺杂ZnO传感器及其气敏性能研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 微液滴注法制备掺杂ZnO传感器及其气敏性能研究
- Study on doped ZnO sensor by micro-droplet injection and its gas sensitive properties
- 传感器与微系统 2019年第5期页码：6-9
- 作者机构：
  
  1. 武汉理工大学材料科学与工程学院
  2. 华中科技大学材料科学与工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金项目(61171207)
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)05-0006-04
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2019
- 稿件说明：
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宋振林, 张覃轶, 孟鑫, 等. 微液滴注法制备掺杂ZnO传感器及其气敏性能研究[J]. 传感器与微系统, 2019,(5):6-9.

SONG Zhenlin, ZHANG Qinyi, MENG Xin, et al. Study on doped ZnO sensor by micro-droplet injection and its gas sensitive properties[J]. 2019, (5): 6-9.
宋振林, 张覃轶, 孟鑫, 等. 微液滴注法制备掺杂ZnO传感器及其气敏性能研究[J]. 传感器与微系统, 2019,(5):6-9. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)05-0006-04.

SONG Zhenlin, ZHANG Qinyi, MENG Xin, et al. Study on doped ZnO sensor by micro-droplet injection and its gas sensitive properties[J]. 2019, (5): 6-9. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)05-0006-04.

摘要

采用自制ZnO颗粒

通过丝网印刷制备了ZnO平板型厚膜气体传感器

使用微液滴注的方法对ZnO传感器进行Mg

Pd掺杂

测量了传感器对乙醇、丙酮、苯、乙酸的气敏性能。结果表明:微滴掺杂能有效提高传感器敏感性和选择性

其中

Mg掺杂传感器对乙醇和丙酮具有最大响应值

同时Mn掺杂传感器对乙酸表现出了较好的选择性。

Abstract

ZnO plate thick film gas sensors are fabricated by screen printing with self-prepared ZnO particles.Mg

Pd are doped into the sensors by micro-droplet doping. The gas sensitivities of the sensors to ethanol

acetone

benzene and acetic acid are measured. The results show that the micro-droplet doping is an effective way to improve the sensitivities and selectivity of the sensors. Among them

the Mg-doped sensor has the highest response values to ethanol and acetone

and the Mn-doped sensor shows better selectivity to acetic acid.

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