基于光纤锥级联的Mach-Zehnder干涉湿度传感器

程君妮

doi:10.13873/J.1000-9787(2019)03-0085-04

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基于光纤锥级联的Mach-Zehnder干涉湿度传感器

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于光纤锥级联的Mach-Zehnder干涉湿度传感器
- Mach-Zehnder interference humidity sensor based on optical fiber taper cascade
- 传感器与微系统 2019年第3期页码：85-88
- 作者机构：
  
  榆林学院能源工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)03-0085-04
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2019
- 稿件说明：
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程君妮. 基于光纤锥级联的Mach-Zehnder干涉湿度传感器[J]. 传感器与微系统, 2019,(3):85-88.

CHENG Jun-ni. Mach-Zehnder interference humidity sensor based on optical fiber taper cascade[J]. 2019, (3): 85-88.
程君妮. 基于光纤锥级联的Mach-Zehnder干涉湿度传感器[J]. 传感器与微系统, 2019,(3):85-88. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)03-0085-04.

CHENG Jun-ni. Mach-Zehnder interference humidity sensor based on optical fiber taper cascade[J]. 2019, (3): 85-88. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2019)03-0085-04.

摘要

提出了一种基于光纤锥级联纤芯失配的Mach-Zehnder干涉湿度传感器。将两段色散补偿光纤对芯熔接光纤锥

并依次级联

再接入一段6 mm的多模渐变光纤

构成了Mach-Zehnder干涉仪

其中多模渐变光纤和芯径失配处的两个节点起到了光纤耦合器的作用。环境湿度变化

引起传感器透射谱能量发生改变。实验结果表明:透射谱波峰能量和湿度有较好的线性关系。当湿度在35%～95%RH范围内变化

传感器灵敏度为-0. 074 9 d B/%RH

线性度R2为0. 995。设计的传感器结构紧凑、灵敏度高

可以广泛应用于不同领域的湿度测量。

Abstract

A Mach-Zehnder interferometric relative humidity（ RH） sensor based on optical fiber tapers cascading with core diameter mismatched is proposed. The waist-enlarged fiber tapers are fabricated by two section of the dispersion compensation fiber

and a 6 mm graded-index multimode fiber（ GI MMF） is cascaded by fusion splicing method

which form Mach-Zehnder interferometer. Fiber core diameter mismatched point and graded-index multimode fiber serve as optical couplers. When the external RH changes

the transmission spectrum energy of the sensor will be changed. The experimental results show that the peak power changes with respect to surrounding RH with good linearity. When the RH change in range of 35 %～ 95 % RH

sensitivity of the sensor is-0. 074 9 d B/% RH with linearity R2 of 0. 995. The proposed RH sensor has compact structure

high sensitivity

which makes it possible to be widely applied in RH measurement.

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