新型双轴电容式加速度传感器设计

朱彬彬; 王路文; 汶飞; 王高峰

doi:10.13873/J.1000-9787(2018)02-0083-03

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

新型双轴电容式加速度传感器设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 新型双轴电容式加速度传感器设计
- Design of novel dual-axis capacitive acceleration sensor
- 传感器与微系统 2018年第2期页码：83-85
- 作者机构：
  
  杭州电子科技大学微电子CAD研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2018)02-0083-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2018
- 稿件说明：
移动端阅览
朱彬彬, 王路文, 汶飞, 等. 新型双轴电容式加速度传感器设计[J]. 传感器与微系统, 2018,(2):83-85.

ZHU Bin-bin, WANG Lu-wen, WEN Fei, et al. Design of novel dual-axis capacitive acceleration sensor[J]. 2018, (2): 83-85.
朱彬彬, 王路文, 汶飞, 等. 新型双轴电容式加速度传感器设计[J]. 传感器与微系统, 2018,(2):83-85. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2018)02-0083-03.

ZHU Bin-bin, WANG Lu-wen, WEN Fei, et al. Design of novel dual-axis capacitive acceleration sensor[J]. 2018, (2): 83-85. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2018)02-0083-03.

摘要

为了实现多轴加速度检测

设计了一种新型双轴电容式加速度传感器。由内、外2个质量块组成

分别由4组折叠梁支撑。传感器通过固定梳齿和活动梳齿之间的距离变化引起两者电容值发生变化

最终测得加速度。通过ANSYS仿真分析得出:传感器的位移灵敏度为0.084 5μm/g

（X轴）和0.138 1μm/g

（Y轴）。结构的一

三

阶谐振频率分别为1.34

1.71

14.48 kHz。由于各阶模态频率相差很大

避免了跨轴信号的干扰。

Abstract

In order to realize detection of multi-axis acceleration

a new type of dual-axis capacitive acceleration sensor is designed. The structure is composed of an inner and an outer mass block

and the structure is respectively supported by four groups of folding beams. The movement of mass changes the gap between the fixed and active fingers

thereby leading to the variation of capacitance. ANSYS simulation analysis shows that the displacement sensitivity of the sensor is 0. 084 5 μm/g

（ for X axis） and 0. 1381 μm/g

（ for Y axis）. In addition

the first three resonant frequencies of the structure are 1. 34 kHz

1. 71 kHz and 14. 48 kHz

respectively. Because each order modal frequency has great difference

so interference of cross shaft signal can be avoided.

关键词

Keywords

references

浏览量

377

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

基于手机加速度传感器的人体步态识别研究

高量程加速度传感器的结构优化与仿真分析

可穿戴式胎动信号采集系统设计

基于多加速度传感器的胎动信号检测方法

加速度传感器安装方式的理论建模与响应分析