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毫米级静电微扑翼驱动器的结构设计、工艺与测试
设计与制造 | 更新时间:2025-09-11
    • 毫米级静电微扑翼驱动器的结构设计、工艺与测试

    • Structure design,fabrication and testing of millimeter-scale electrostatic micro flapping-wing actuator

    • 传感器与微系统   2018年第1期 页码:91-95
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2018)01-0091-05    

      中图分类号: V279
    • 纸质出版:2018

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  • 杨艺, 车云龙. 毫米级静电微扑翼驱动器的结构设计、工艺与测试[J]. 传感器与微系统, 2018,(1):91-95. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2018)01-0091-05.

    YANG Yi, CHE Yun-long. Structure design,fabrication and testing of millimeter-scale electrostatic micro flapping-wing actuator[J]. 2018, (1): 91-95. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2018)01-0091-05.

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