基于QCM的湿度传感器等效电路模型研究

郭剑锋; 刘庆辉; 郑国恒; 杨洁; 时朝晖

doi:10.13873/J.1000-9787(2017)08-0029-03

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基于QCM的湿度传感器等效电路模型研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 基于QCM的湿度传感器等效电路模型研究
- Research of equivalent circuit model for QCM-based humidity sensor
- 传感器与微系统 2017年36卷第8期页码：29-31
- 作者机构：
  
  郑州大学物理工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  河南省科技攻关计划资助项目（162102210018）
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2017)08-0029-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2017
- 稿件说明：
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[1]郭剑锋,刘庆辉,郑国恒,杨洁,时朝晖.基于QCM的湿度传感器等效电路模型研究[J].传感器与微系统,2017,36(08):29-31.

GUO Jian-feng, LIU Qing-hui, ZHENG Guo-heng, et al. Research of equivalent circuit model for QCM-based humidity sensor[J]. 2017, 36(8): 29-31.
[1]郭剑锋,刘庆辉,郑国恒,杨洁,时朝晖.基于QCM的湿度传感器等效电路模型研究[J].传感器与微系统,2017,36(08):29-31. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2017)08-0029-03.

GUO Jian-feng, LIU Qing-hui, ZHENG Guo-heng, et al. Research of equivalent circuit model for QCM-based humidity sensor[J]. 2017, 36(8): 29-31. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2017)08-0029-03.

摘要

基于石英晶体微天平（QCM）的湿度传感器是一种以石英晶体为核心元件的新型高灵敏度传感器。根据气相中晶体振荡电路的起振和稳定条件

对晶体表面敏感薄膜吸附水分时等效电路参数的变化进行建模

得到了一种新型的基于QCM的湿度传感器等效电路模型。通过电路仿真软件PSPICE对模型进行仿真

并搭建QCM湿度传感器实验测量平台

结果验证了基于QCM的湿度传感器等效电路模型的有效性和正确性

对QCM湿度传感器的振荡电路的进一步设计和优化具有指导意义。

Abstract

Quartz crystal microbalance（ QCM）-based humidity sensor is a new type of high sensitivity sensor based on quartz crystal as the core element of oscillator circuit. According to the oscillation startup and stable condition of QCM in the gas phase

the model for equivalent circuit parameter changes while senstive film coated on QC absorbing moisture is established

and a new equivalent circuit model for humidity sensor is obtained. The model is simulated to demonstrate the correctness and effectiveness of the model by using PSPICE software

which is carried out by an experimental platform for QCM-based humidity sensor. It will have certain instructional significance on the design and improvement of oscillation circuits of QCM humidity sensor.

关键词

Keywords

references

新型宽频自适应石英晶体微天平测量方法 [J]. 周俊鹏,包宇,林青,逄仁山,王连明,牛利. 分析化学 . 2014(05)

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