电容式薄膜真空压力传感器设计

王凡; 崔宏敏; 宗义仲; 王文博

doi:10.13873/J.1000-9787(2017)03-0084-03

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电容式薄膜真空压力传感器设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 电容式薄膜真空压力传感器设计
- Design of capacitive thin film vacuum pressure sensor
- 传感器与微系统 2017年36卷第3期页码：84-86+90
- 作者机构：
  
  中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2017)03-0084-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2017
- 稿件说明：
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[1]王凡,崔宏敏,宗义仲,王文博.电容式薄膜真空压力传感器设计[J].传感器与微系统,2017,36(03):84-86+90.

WANG Fan, CUI Hong-min, ZONG Yi-zhong, et al. Design of capacitive thin film vacuum pressure sensor[J]. 2017, 36(3): 84-86+90.
[1]王凡,崔宏敏,宗义仲,王文博.电容式薄膜真空压力传感器设计[J].传感器与微系统,2017,36(03):84-86+90. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2017)03-0084-03.

WANG Fan, CUI Hong-min, ZONG Yi-zhong, et al. Design of capacitive thin film vacuum pressure sensor[J]. 2017, 36(3): 84-86+90. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2017)03-0084-03.

摘要

为了满足在工程型号上的使用要求

解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题

采用电容式薄膜封装结构

壳体为电容的另一极

在0.1

00 Pa的范围内进行了校准测试

实现了传感器0.2%FS的测量精度。

Abstract

In order to meet the requirements of engineering models. In the research of the capacitive thin film vacuum pressure sensor

solve problems of insulation isolation between sensitive probe case and sensor case

nonlinearity compensation of sensor output signals

full circuits temperature compensation of thermal zero point drift use capacitive thin film packaging structure

shell of sensor acts as a pole of the capacitor

calibration test is performed in measuring pressure range of（ 0. 1

100） Pa

0. 2 % FS measurement precision is achieved.

关键词

Keywords

references

调幅式电容位移传感器开关检波电路设计 [J]. 冯佳,李佩玥,徐立松,尹志生,隋永新. 传感器与微系统 . 2015(05)

微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备 [J]. 陶也,曾毅波,刘畅,林杰,郭航. 厦门大学学报(自然科学版) . 2013(05)

微小型一体化电容式测压器的设计与实现 [J]. 叶娟,李新娥,李政清. 传感器与微系统 . 2011(07)

基于MEMS技术的电容式微型真空传感器 [J]. 张丹,林雁飞,冯勇建. 微纳电子技术 . 2008(02)

MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制 [J]. 庞程,赵湛,杜利东. 微纳电子技术 . 2007(Z1)

Uncertainties in calibration using capacitance diaphragm gauges as reference standard [J] . J.M. Hidalgo,J.L. de Segovia. Vacuum . 2008 (12)

High-sensitivity silicon capacitive sensors for measuring medium-vacuum gas pressures [J] . David C. Catling. Sensors & Actuators: A. Physical . 1998 (2)

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