硅基高通量单细胞阵列芯片制备与研究

孟祥; 周晓峰; 车录锋

doi:10.13873/J.1000-9787(2017)03-0014-03

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硅基高通量单细胞阵列芯片制备与研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 硅基高通量单细胞阵列芯片制备与研究
- Preparation and research on silicon-based high throughput array chip of single cell
- 传感器与微系统 2017年36卷第3期页码：14-16+20
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室
  2. 中国科学院大学
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2017)03-0014-03
  中图分类号： TN492
- 纸质出版：2017
- 稿件说明：
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[1]孟祥,周晓峰,车录锋.硅基高通量单细胞阵列芯片制备与研究[J].传感器与微系统,2017,36(03):14-16+20.

MENG Xiang, ZHOU Xiao-feng, CHE Lu-feng. Preparation and research on silicon-based high throughput array chip of single cell[J]. 2017, 36(3): 14-16+20.
[1]孟祥,周晓峰,车录锋.硅基高通量单细胞阵列芯片制备与研究[J].传感器与微系统,2017,36(03):14-16+20. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2017)03-0014-03.

MENG Xiang, ZHOU Xiao-feng, CHE Lu-feng. Preparation and research on silicon-based high throughput array chip of single cell[J]. 2017, 36(3): 14-16+20. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2017)03-0014-03.

摘要

采用微机电系统（MEMS）技术结合金属辅助化学腐蚀工艺制作出关键结构为纳米氧化硅的阵列芯片

细胞可以定点黏附在纳米氧化硅上。通过实验计算和分析得知

在0.7

3μm内

纳米线长度约为3μm时深宽比适宜

有利于黏附蛋白充分铺展

黏附效率达到最高85%。改变培养时间（5

80 min）和细胞浓度（0.5

.0）

发现培养时间在不低于4 h

细胞浓度在1.5时

由于伪足充分缠绕于纳米线上

阵列饱和度达到最高83%。实验结果表明:制作出的单细胞阵列芯片具有较高的黏附效率和阵列饱和度

达到了高通量的标准。

Abstract

Array chip with key structure of SiO

is prepared based on MEMS technology. Cells can adhere to SiO

directly. Cell adhesion efficiency reach the highest value of 85 % at 3 μm in the range of 0. 7

23 μm

because appropriate aspect ratio can enhance the twine between cellular pseudopod and nanowires. Single cell array saturation is analyzed on different incubation time and cell concentration respectively. And the saturation reach highest value of 83 % when incubation time is at least 4h and cell concentration is 1. 5

because the sufficient interaction between cellular pseudopod and nanowires. Experimental result shows the produced array chip of single cell has higher cell adhesion effici

ency and array saturation which meet the standard of high throughput.

关键词

Keywords

references

用于细胞固定的微纳SiO 2 基底研究 [J]. 梁盛林,周晓峰,车录锋. 传感器与微系统 . 2016(02)

基于微系统技术的细胞微操控、细胞图形化方法及应用 [J]. 邵建波,金庆辉,赵建龙. 中国生物工程杂志 . 2007(07)

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