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半导体制冷的冷阱系统设计
设计与制造 | 更新时间:2025-09-11
    • 半导体制冷的冷阱系统设计

    • Design of cold trap system on semiconductor

    • 传感器与微系统   2016年35卷第11期 页码:84-86
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2016)11-0084-03    

      中图分类号: TB657
    • 纸质出版:2016

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  • [1]马继尧,张嘉琪,徐春宇,张春兰,乔旭东,张伯东.半导体制冷的冷阱系统设计[J].传感器与微系统,2016,35(11):84-86. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2016)11-0084-03.

    MA Ji-yao, ZHANG Jia-qi, XU Chun-yu, et al. Design of cold trap system on semiconductor[J]. 2016, 35(11): 84-86. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2016)11-0084-03.

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