高温薄膜传感器制备与性能研究

王强; 张久斌; 邵靖; 程萍; 丁桂甫; 段力

doi:10.13873/J.1000-9787(2016)11-0033-03

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高温薄膜传感器制备与性能研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 高温薄膜传感器制备与性能研究
- Fabrication and performance study of high temperature thin film sensor
- 传感器与微系统 2016年35卷第11期页码：33-35+39
- 作者机构：
  
  1. 上海中航商用航空发动机制造有限责任公司
  2. 上海交通大学电子信息与电子工程学院微纳电子学系微/纳米国家重点实验室
  3. 中航商用航空发动机有限责任公司
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2016)11-0033-03
  中图分类号： V23;TP212
- 纸质出版：2016
- 稿件说明：
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[1]王强,张久斌,邵靖,程萍,丁桂甫,段力.高温薄膜传感器制备与性能研究[J].传感器与微系统,2016,35(11):33-35+39.

WANG Qiang, ZHANG Jiu-bin, SHAO Jing, et al. Fabrication and performance study of high temperature thin film sensor[J]. 2016, 35(11): 33-35+39.
[1]王强,张久斌,邵靖,程萍,丁桂甫,段力.高温薄膜传感器制备与性能研究[J].传感器与微系统,2016,35(11):33-35+39. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2016)11-0033-03.

WANG Qiang, ZHANG Jiu-bin, SHAO Jing, et al. Fabrication and performance study of high temperature thin film sensor[J]. 2016, 35(11): 33-35+39. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2016)11-0033-03.

摘要

利用微机电系统（MEMS）工艺在Al

基片上制备了Pt—PtRh薄膜热电偶

其工作温度最高可达到1 300℃

最大输出电势达14.8 m V。薄膜热电偶的电势—温度曲线与标准热电偶的曲线基本重合

同时研究了不同粘结层对薄膜微结构、器件寿命的影响。实验结果表明:以Ta为粘结层时薄膜传感器的寿命最长

在1 300℃下可达到14 h。

Abstract

Pt-PtRh thin film thermocouples（ TFTCs） are fabricated on Al

substrate by micro-electromechanical system（ MEMS） technology. Its operating temperature is up to 1300℃. The maximum thermoelectric voltage of TFTCs is 14. 8 m V. Its V-T curve is in accordance with that of standard thermocouple approximately.Effect of different adhesion layer materials on micro-structure of TFTCs and lifetime of device are studied. The film sensor with tantalum adhesion layer has the longest lifetime

which is up to 14 h at 1 300 ℃.

关键词

Keywords

references

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