一种基于TiO<sub>2</sub>纳米棒阵列的快速响应湿度传感器研究

杜鹏; 陈向东; 朱浩

doi:10.13873/J.1000-9787(2015)09-0055-03

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一种基于TiO₂纳米棒阵列的快速响应湿度传感器研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 一种基于TiO₂纳米棒阵列的快速响应湿度传感器研究
- Study on a fast response humidity sensor based on TiO₂ nanorod array
- 传感器与微系统 2015年34卷第9期页码：55-57
- 作者机构：
  
  西南交通大学信息科学与技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（61171050）;电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放课题项目（KFJJ201015）
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2015)09-0055-03
  中图分类号： TB383.1;TP212
- 纸质出版：2015
- 稿件说明：
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[1]杜鹏,陈向东,朱浩.一种基于TiO_2纳米棒阵列的快速响应湿度传感器研究[J].传感器与微系统,2015,34(09):55-57.

DU Peng, CHEN Xiang-dong, ZHU Hao. Study on a fast response humidity sensor based on TiO₂ nanorod array[J]. 2015, 34(9): 55-57.
[1]杜鹏,陈向东,朱浩.一种基于TiO_2纳米棒阵列的快速响应湿度传感器研究[J].传感器与微系统,2015,34(09):55-57. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2015)09-0055-03.

DU Peng, CHEN Xiang-dong, ZHU Hao. Study on a fast response humidity sensor based on TiO₂ nanorod array[J]. 2015, 34(9): 55-57. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2015)09-0055-03.

摘要

通过水热法使TiO2纳米棒阵列直接生长在叉指电极之间

并制备成湿度传感器。纳米棒疏松多孔

直径大约20 nm

长度1μm。在相对湿度6%

7%RH的范围内传感器的电阻变化达3个数量级

感湿曲线的线性较好

湿滞较小。由于纳米棒生长方向一致

形成了许多有利于水分子进出的水汽通道

有效提高了传感器的响应特性

该传感器的响应时间为2 s

恢复时间为6 s。

Abstract

TiO2 nanorod array is grown directly between Au interdigital electrodes by the hydrothermal method.The nanorods are grown vertically along the lateral surface of Au electrode to be prepared for humidity sensor. The nanorod array is a kind of loose and porous material

about 20 nm in diameter

1 μm in length. The resistance change range of the sensor has almost three orders of magnitude in humidity range of 6 %

97 % RH

linearity of humidity sensing curve is better and hysteresis is little. Due to growth of nanorods in the same direction

form a lot of ordered channels of water vapor and is favorable to the entrance and exit of water molecule

it effectively improve response characteristic of the sensor

response time and recovery time of sensor is 2 s and 6 s

respectively.

关键词

Keywords

references

TiO 2 纳米管阵列的湿敏特性研究 [J]. 李明辉,李伊荇,杜方,张艳艳,付乌有,杨海滨. 现代仪器 . 2009(03)

Microwave assisted hydrothermal synthesis of Au@TiO 2 core–shell nanoparticles for high temperature CO sensing applications [J] . Yun-Su Kim,Prabhakar Rai,Yeon-Tae Yu. Sensors & Actuators: B. Chemical . 2013

Enhanced sensitivity of ammonia sensor using graphene/polyaniline nanocomposite [J] . Zuquan Wu,Xiangdong Chen,Shibu Zhu,Zuowan Zhou,Yao Yao,Wei Quan,Bin Liu. Sensors & Actuators: B. Chemical . 2013

Study on humidity sensing property based on TiO 2 porous film and polystyrene sulfonic sodium [J] . Aihua Sun,Lin Huang,Yong Li. Sensors & Actuators: B. Chemical . 2009 (2)

State of the art and future developments in soil analysis for bioavailability assessment [J] . V.J.G. Houba,Th.M. Lexmond,I. Novozamsky,J.J. van der Lee. Science of the Total Environment . 1996 (1)

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Study on a fast response humidity sensor based on TiO2 nanorod array

DOI：10.13873/J.1000-9787(2015)09-0055-03

摘要

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Study on a fast response humidity sensor based on TiO₂ nanorod array