基于薄膜体声波谐振器的免疫球蛋白传感器制备

杨翰林; 陈达; 刘一剑; 沈勇; 张亚非

doi:10.13873/J.1000-9787(2015)08-0080-03

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基于薄膜体声波谐振器的免疫球蛋白传感器制备

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于薄膜体声波谐振器的免疫球蛋白传感器制备
- Fabrication of immune globulin sensor based on film bulk acoustic resonator
- 传感器与微系统 2015年34卷第8期页码：80-82
- 作者机构：
  
  1. 上海交通大学电子信息与电气工程学院
  2. 山东科技大学电子通信与物理学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家“973”计划资助项目（2006CB300406）
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2015)08-0080-03
  中图分类号： TP212.3
- 纸质出版：2015
- 稿件说明：
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[1]杨翰林,陈达,刘一剑,沈勇,张亚非.基于薄膜体声波谐振器的免疫球蛋白传感器制备[J].传感器与微系统,2015,34(08):80-82.

YANG Han-lin, CHEN Da, LIU Yi-jian, et al. Fabrication of immune globulin sensor based on film bulk acoustic resonator[J]. 2015, 34(8): 80-82.
[1]杨翰林,陈达,刘一剑,沈勇,张亚非.基于薄膜体声波谐振器的免疫球蛋白传感器制备[J].传感器与微系统,2015,34(08):80-82. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2015)08-0080-03.

YANG Han-lin, CHEN Da, LIU Yi-jian, et al. Fabrication of immune globulin sensor based on film bulk acoustic resonator[J]. 2015, 34(8): 80-82. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2015)08-0080-03.

摘要

研制了一种基于薄膜体声波谐振器（FBAR）的生物免疫球蛋白传感器

该FBAR采用Al N作为压电层

3对Ti/W金属层作为布拉格声学反射层

工作频率为2.047 GHz

回波损耗为-32 d B。利用自组装膜法修饰顶部金电极敏感区域。测试了免疫球蛋白G抗体和抗原的特异性结合前后传感器的指标变化。结果得到传感器的Q值和灵敏度分别达到846

3.38 k Hz·cm2/ng

远高于广泛使用的石英晶体微天平（QCM）

具有广阔的应用前景。

Abstract

An immune globulin（ IG） sensor based on thin film bulk acoustic resonator（ FBAR） is presented

which works at 2. 047 GHz with- 32 d B return loss

consisting of an Al N piezoelectric stack and three pairs of Ti / W Bragg reflector. Self-assembled monolayers（ SAMs） are applied to modify the top Au electrode sensitive area. Index changes of sensor before and after combination of antigen and antibody of IG are test. The Q factor of sensor is calculated as high as 846 and the sensitivity as a biosensor can reach 3. 38 k Hz·cm2/ ng which much higher than that of QCM. Through the antibody detection experiment

the FBAR is proved to have the potential of exhibiting a more crucial effect in the biosensor field.

关键词

Keywords

references

压电免疫球蛋白微阵列免疫传感器抗体固定方法的研究 [J]. 姚春艳,府伟灵,陈庆海,俞凡. 中华医院感染学杂志 . 2006(11)

Protein-modified shear mode film bulk acoustic resonator for bio-sensing applications [J] . Jingjing Wang,Weihui Liu,Yan Xu,Da Chen,Dehua Li,Luyin Zhang. Applied Physics A . 2014 (4)

Experiment and theoretical analysis of relative humidity sensor based on film bulk acoustic-wave resonator [J] . Xiaotun Qiu,Rui Tang,Jie Zhu. Sensors & Actuators: B. Chemical . 2010 (2)

Film bulk acoustic resonators for DNA and protein detection and investigation of in vitro bacterial S-layer formation [J] . Sensors & Actuators: A. Physical . 2009 (1)

Bulk acoustic wave resonator operating at 8 GHz for gravimetric sensing of organic films [J] . Samuel Rey-Mermet,Roman Lanz,Paul Muralt. Sensors & Actuators: B. Chemical . 2005 (2)

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