NiCrAlY薄膜应变计的研制

张洁; 杨晓东; 蒋书文; 蒋洪川; 赵晓辉; 张万里

doi:10.13873/J.1000-9787(2015)04-0105-03

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

NiCrAlY薄膜应变计的研制

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- NiCrAlY薄膜应变计的研制
- Research and fabrication of NiCrAlY thin-film strain gauges
- 传感器与微系统 2015年34卷第4期页码：105-107
- 作者机构：
  
  电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2015)04-0105-03
  中图分类号： TH823.3
- 纸质出版：2015
- 稿件说明：
移动端阅览
[1]张洁,杨晓东,蒋书文,蒋洪川,赵晓辉,张万里.NiCrAlY薄膜应变计的研制[J].传感器与微系统,2015,34(04):105-107.

ZHANG Jie, YANG Xiao-dong, JIANG Shu-wen, et al. Research and fabrication of NiCrAlY thin-film strain gauges[J]. 2015, 34(4): 105-107.
[1]张洁,杨晓东,蒋书文,蒋洪川,赵晓辉,张万里.NiCrAlY薄膜应变计的研制[J].传感器与微系统,2015,34(04):105-107. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2015)04-0105-03.

ZHANG Jie, YANG Xiao-dong, JIANG Shu-wen, et al. Research and fabrication of NiCrAlY thin-film strain gauges[J]. 2015, 34(4): 105-107. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2015)04-0105-03.

摘要

采用射频磁控溅射法在Ni基高温合金拉伸件上制备Ni Cr Al Y薄膜应变计。研究了热稳定处理对Ni Cr Al Y薄膜结构、表面形貌的影响

并且测试了Ni Cr Al Y薄膜应变计的电学与应变性能。结果表明:热稳定处理后Ni Cr Al Y薄膜应变计由于在表面形成了一层Al2O3膜

具有抗高温氧化的特性

在室温

00℃范围内

应变计电阻同温度呈线性变化

电阻温度系数（TCR）约为290×10-6/℃

室温下的应变计系数（GF）为2.1。

Abstract

Ni Cr Al Y thin film strain gauges are deposited on the nickel-based superalloy by radio-frequency magnetron sputtering. The effects of stabilized heat treatment at 1 000 ℃ on structure and surface morphology of Ni Cr Al Y thin films are investigated and the electromechanical properties of Ni Cr Al Y thin film strain gauges are measured. After stabilized heat treatment at 1 000 ℃

a layer of Al2O3 is formed on the surface of Ni Cr Al Y thin film

which is important cause for excellent high-temperature oxidation resistance. The variation of strain gauge resistance with temperature is linear in the temperature range from room temperature to 800 ℃. The temperature coefficient of resistance（ TCR） is about 290 × 10-6/ ℃

and gauge factor（ GF） is about 2. 1 at room temperature.

关键词

Keywords

references

真空热处理对NiCrAlY薄膜表面高温氧化的影响 [J]. 李瑶,陈寅之,唐永旭,蒋洪川,刘兴钊. 电子元件与材料 . 2011(11)

有序能对Ni 75 Al 15 Cr 10 合金Cr替代行为影响的微观相场研究 [J]. 赵彦,陈铮,王永欣,霍进良,张利鹏,张明义. 金属学报 . 2009(05)

电弧离子镀NiCoCrAlY涂层的组织结构及初期氧化 [J]. 孙超,王启民,唐永吉,关庆丰,宫骏,闻立时. 金属学报 . 2005(11)

溅射NiCrAlY涂层氧化过程Al 2 O 3 膜结构与形貌的转变 [J]. 李美姮,孙晓峰,张重远,胡望宇,管恒荣,胡壮麒. 腐蚀科学与防护技术 . 2002(03)

EFFECT OF VACUUM HEAT TREATMENT ON OXIDATION BEHAVIOR OF SPUTTERED NiCrAlY COATING [J]. M.H. Li,X.F. Sun,Z.Y. Zhang,H.R. Guan,W.Y. Hu,Z.Q. Acta Metallurgica Sinica（English Edition） . 2002(01)

Thermal barrier coating experience in gas turbine engines at Pratt & Whitney [J] . S. Bose,J. DeMasi-Marcin. Journal of Thermal Spray Technology . 1997 (1)

Oxide scale formation on an MCrAlY coating in various H 2 -H 2 O atmospheres [J] . C. Leyens,K. Fritscher,R. Gehrling,M. Peters,W.A. Kaysser. Surface & Coatings Technology . 1996 (1)

浏览量

130

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

微型薄膜锂离子电池正极材料LiCoO₂薄膜研究

微F-P腔可调谐滤波器关键工艺研究

微型薄膜锂离子电池负极材料SnO_x掺杂Cu研究

磁控溅射功率对掺Al氧化锌薄膜特性的影响

氩氧比对ZnO薄膜特性的影响与紫外探测器的研制