MEMS扫描镜温度可靠性测试

乔大勇; 史龙飞; 曹兰玉; 练彬

doi:10.13873/J.1000-9787(2014)12-0146-03

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MEMS扫描镜温度可靠性测试

计算与测试 | 更新时间：2025-09-11

- MEMS扫描镜温度可靠性测试
- Temperature reliability test of MEMS scanning mirror
- 传感器与微系统 2014年33卷第12期页码：146-148
- 作者机构：
  
  1. 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
  2. 西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室
  3. 西北工业大学深圳研究院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（51375399,51375400）;西北工业大学基础研究基金资助项目（JCY20130119）;深圳市财政委员会2012年第四批市新一代信息技术产业发展专项资金基础研究计划项目（JCYJ20120614154203639）
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2014)12-0146-03
  中图分类号： TH811
- 纸质出版：2014
- 稿件说明：
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[1]乔大勇,史龙飞,曹兰玉,练彬.MEMS扫描镜温度可靠性测试[J].传感器与微系统,2014,33(12):146-148.

QIAO Da-yong, SHI Long-fei, CAO Lan-yu, et al. Temperature reliability test of MEMS scanning mirror[J]. 2014, 33(12): 146-148.
[1]乔大勇,史龙飞,曹兰玉,练彬.MEMS扫描镜温度可靠性测试[J].传感器与微系统,2014,33(12):146-148. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2014)12-0146-03.

QIAO Da-yong, SHI Long-fei, CAO Lan-yu, et al. Temperature reliability test of MEMS scanning mirror[J]. 2014, 33(12): 146-148. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2014)12-0146-03.

摘要

温度是MEMS扫描镜的一个重要失效因素。研究温度对MEMS扫描镜振幅的影响

再通过温度冲击试验和高低温存储试验测试温度对MEMS扫描镜可靠性的影响

分析扫描镜在试验中是否失效和失效的原因。试验结果表明:高温对MEMS扫描镜外框架和镜面振幅无影响

低温对MEMS扫描镜外框架振幅影响较大

增幅达12.3%

对镜面振幅无影响;低温存储由于水汽凝结会导致MEMS扫描镜失效

高温存储对MEMS扫描镜可靠性无影响。

Abstract

Temperature is an important factor in failure of MEMS scanning mirror.Influence of temperature on amplitude of MEMS scanning mirror is studied

through temperature shock

high and low temperature storage test

measure influence of temperature on reliability of MEMS scanning mirror and analyze reasons for failure.Experimental results show that high temperature has no effect on frame and amplitude of mirror surface

but low temperature has great effect on amplitude of frame of scanning mirror

increasing 12.3%

and has no effect on amplitude of mirror surface;due to water vapour condensation

low temperature storage will cause failure of MEMS scanning mirror

while high temperature storage has no effect on reliability of MEMS scanning mirror.

关键词

Keywords

references

一种新型微机电系统扫描镜的谐振频率研究 [J]. 燕斌,苑伟政,乔大勇,刘耀波,吴蒙,李昭. 光学学报 . 2012(06)

温度湿度对产品的影响分析 [J]. 傅钊. 电子产品可靠性与环境试验 . 2010(02)

MEMS传感器的标准化现状与发展对策 [J]. 陈勤,范树新,张维波. 传感器与微系统 . 2007(08)

MEMS可靠性与失效分析 [J]. 张文明,孟光. 机械强度 . 2005(06)

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