基于环形微热板的ZnO微气体传感器设计

李超; 谭秋林; 刘文怡

doi:10.13873/J.1000-9787(2014)11-0089-03

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基于环形微热板的ZnO微气体传感器设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于环形微热板的ZnO微气体传感器设计
- Design of ZnO micro gas sensor based on ring shape micro-hotplate
- 传感器与微系统 2014年33卷第11期页码：89-91
- 作者机构：
  
  1. 中北大学电子测试技术重点实验室
  2. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（51275491）
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2014)11-0089-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2014
- 稿件说明：
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[1]李超,谭秋林,刘文怡.基于环形微热板的ZnO微气体传感器设计[J].传感器与微系统,2014,33(11):89-91.

LI Chao, TAN Qiu-lin, LIU Wen-yi. Design of ZnO micro gas sensor based on ring shape micro-hotplate[J]. 2014, 33(11): 89-91.
[1]李超,谭秋林,刘文怡.基于环形微热板的ZnO微气体传感器设计[J].传感器与微系统,2014,33(11):89-91. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2014)11-0089-03.

LI Chao, TAN Qiu-lin, LIU Wen-yi. Design of ZnO micro gas sensor based on ring shape micro-hotplate[J]. 2014, 33(11): 89-91. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2014)11-0089-03.

摘要

提出一种新型的设有环形结构微热板的硅基ZnO微气体传感器。利用ANSYS软件

将环形电极结构与传统的蛇形结构进行温度分布的模拟仿真

发现该结构能供给传感器更高的温度且中心温度分布均匀

进而解决了现有传感器功耗大的缺点。通过对RF磁控溅射ZnO薄膜的工艺摸索

得出了适宜作气敏薄膜的制备参数。该传感器在250℃下对（200

000）×10-6CH4气体有很好的响应。

Abstract

A novel silicon-based ZnO micro gas sensor with ring shape structure micro-hotplate is proposed.Temperature distribution simulation on ring shape electrode structure and traditional serpentine structure is conducted using ANSYS software

it is found that the structure can provide sensor with higher working temperature and temperature distribution in center is uniform

thus solve disadvantage of large power consumption. Preparation parameter which is suitable for gas sensitive film is obtained through technology exploration of ZnO thin film with RF magnetron sputtering. The designed sensor can offer fairly good response for methane at range（ 200

1 000） ×10- 6at 250 ℃.

关键词

Keywords

references

金属氧化物气敏元件阵列的制备与性能研究 [D]. 柏自奎. 华中科技大学 2008

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