MEMS半填充气相色谱柱研究

李臆; 杜晓松; 高超; 蒋亚东; 齐虹; 王永刚

doi:10.13873/J.1000-9787(2014)09-0032-03

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MEMS半填充气相色谱柱研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- MEMS半填充气相色谱柱研究
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- 传感器与微系统 2014年33卷第9期页码：32-34+41
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（61176066,61101031）;国家高技术研究发展“863”计划资助项目（SS2014AA063010）
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2014)09-0032-03
  中图分类号： O657.71
- 纸质出版：2014
- 稿件说明：
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[1]李臆,杜晓松,高超,蒋亚东,齐虹,王永刚.MEMS半填充气相色谱柱研究[J].传感器与微系统,2014,33(09):32-34+41.
[1]李臆,杜晓松,高超,蒋亚东,齐虹,王永刚.MEMS半填充气相色谱柱研究[J].传感器与微系统,2014,33(09):32-34+41. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2014)09-0032-03.

DOI：

摘要

采用MEMS技术设计了一种微型半填充气相色谱柱

运用深反应离子刻蚀（DRIE）技术

对器件刻蚀深250μm

其微型色谱柱总长度为1m

宽度为160μm

槽道内部填充20μm×20μm微型柱。采用静态涂覆法对色谱柱涂覆SE—54固定相。通过理论模拟分析柱结构

得出微型半填充色谱柱具有高分离效率能力。在对酯类化合物分离测试中

选取了含酯类的化学战剂模拟剂和几种酯类食品添加剂

分别对其进行分离

所有组分在75s内被完全分离。实现了微型半填充色谱柱快速并具有高分离率。

Abstract

关键词

Keywords

references

A micro gas chromatography chip with an embedded non-cascaded thermal conductivity detector [J] . Shree Narayanan,Bassam Alfeeli,Masoud Agah. Procedia Engineering . 2010

MEMS-based semi-packed gas chromatography columns [J] . Syed Ali,Mehdi Ashraf-Khorassani,Larry T. Taylor,Masoud Agah. Sensors & Actuators: B. Chemical . 2009 (1)

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