富氧空位Pt/ZnO基MEMS芯片制备及乙醇传感性能研究

杨佳璇; 严勇; 梁梅华; 李志礼; 黄垒

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富氧空位Pt/ZnO基MEMS芯片制备及乙醇传感性能研究

研究与探讨 | 更新时间：2026-03-18

- 富氧空位Pt/ZnO基MEMS芯片制备及乙醇传感性能研究
- Preparation of oxygen vacancy-rich Pt/ZnO-based MEMS chips and research on ethanol sensing performance
- 传感器与微系统 2026年45卷第3期页码：31-35
- 作者机构：
  
  1. 广西大学化学化工学院,广西,南宁,530000
  2. 上海大学理学院纳米科学与技术研究中心,上海,200444
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2026
- 稿件说明：
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杨佳璇, 严勇, 梁梅华, 等. 富氧空位Pt/ZnO基MEMS芯片制备及乙醇传感性能研究[J]. 传感器与微系统, 2026,45(3):31-35.

YANG Jiaxuan, YAN Yong, LIANG Meihua, et al. Preparation of oxygen vacancy-rich Pt/ZnO-based MEMS chips and research on ethanol sensing performance[J]. 2026, 45(3): 31-35.
杨佳璇, 严勇, 梁梅华, 等. 富氧空位Pt/ZnO基MEMS芯片制备及乙醇传感性能研究[J]. 传感器与微系统, 2026,45(3):31-35. DOI：

YANG Jiaxuan, YAN Yong, LIANG Meihua, et al. Preparation of oxygen vacancy-rich Pt/ZnO-based MEMS chips and research on ethanol sensing performance[J]. 2026, 45(3): 31-35. DOI：

摘要

以氧化锌（ZnO）为基材，采用浸渍—光沉积方法制备了富氧空位且铂（Pt）纳米颗粒高度分散的Pt/ZnO复合材料，以此为基础，制备了MEMS乙醇气体传感器。结果表明：Pt的负载显著提高了ZnO/MEMS传感器的灵敏度。220℃下

1.0% Pt/ZnO对体积分数为20×10

-6

的乙醇气体的响应时间仅为1.6s，响应值可达到21.4，是未负载Pt纳米颗粒的ZnO传感器的15倍。同时，Pt的负载使传感器的最佳工作温度降低了60℃，从而降低了传感器的功耗。此外，该1.0% Pt/ZnO传感器对乙醇具有良好的选择性与稳定性，对不同体积分数的乙醇气体表现出良好的线性响应关系。

Abstract

Zinc oxide(ZnO)is used as substrate

and platinum（Pt）/ZnO composite material with oxygen vacancy-rich and highly dispersed Pt nanoparticles is prepared using the impregnation-photodeposition method.Based on this

MEMS ethanol gas sensor is fabricated.The results indicate that the loading of Pt significantly improves the sensitivity of the ZnO/MEMS sensor.At 220℃

the response time of 1.0% Pt/ZnO toward ethanol gas with a volume fraction of 20×10

-6

is only 1.6s and the response value can reach 21.4

which is 15 times that of the ZnO sensor unloaded Pt nanoparticles.At the same time

the loading of Pt reduces the optimal oper

ating temperature of the sensor by 60℃

thereby decreasing the power consumption of the sensor.Furthermore

the 1.0% Pt/ZnO sensor has excellent selectivity and stability for ethanol

exhibiting a good linear response relationship to ethanol gas with different volume fractions.

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