东北微机电系统(MEMS)研发联合体会议简报

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东北微机电系统(MEMS)研发联合体会议简报

更新时间：2025-09-11

- 东北微机电系统(MEMS)研发联合体会议简报
- 东北微机电系统（MEMS）研发联合体会议简报
- 传感器与微系统 2001年第12期页码：59-60
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  中图分类号： TP21
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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东北微机电系统(MEMS)研发联合体会议简报[J]. 传感器与微系统, 2001,(12):59-60.

东北微机电系统（MEMS）研发联合体会议简报[J]. 2001, (12): 59-60.
东北微机电系统(MEMS)研发联合体会议简报[J]. 传感器与微系统, 2001,(12):59-60. DOI：

东北微机电系统（MEMS）研发联合体会议简报[J]. 2001, (12): 59-60. DOI：

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