微电子机械系统和片式系统

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

微电子机械系统和片式系统

更新时间：2025-09-11

- 微电子机械系统和片式系统
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1999年第3期页码：18
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1999
- 稿件说明：
移动端阅览
微电子机械系统和片式系统[J]. 传感器与微系统, 1999,(3):18.
微电子机械系统和片式系统[J]. 传感器与微系统, 1999,(3):18. DOI：

DOI：

摘要

介绍微电子机械系统和片式系统的原理、构成和应用，并介绍几种已研制成功的微电子机械系统和片式系统。

Abstract

关键词

Keywords

references

0

浏览量

0

下载量

0

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

相关文章

暂无数据

相关作者

暂无数据

相关机构

暂无数据

⁰