原子氧是低地球轨道中作用于空间飞行器的主要因素。随着空间应用的发展，对原子氧的研究也逐渐成为空间研究的重要内容，原子氧密度的测量则是原子氧研究工作的前提。介绍了几种常用的原子氧密度测量技术，并对各种技术的特点进行了比较。将传统测量技术和新材料的优点结合起来，提出了改进的原子氧密度测量技术，并进行了较深入的研究。