在压电石英晶体表面真空喷镀金电极，当金电极与长链烷基硫醇（ＨＳ（ＣＨ２）１５ＣＨ３）接触时，硫醇分子自发地在金电极表面发生化学吸附，并形成紧密堆积、高度有序的自组装单层膜（ＳＡＭ），本文利用压电石英晶体传感器在线监测ＳＡＭ形成过程中的质量变化量，给出有关ＳＡＭ的成膜动力学方面的信息。