PYROSOL薄膜淀积技术

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PYROSOL薄膜淀积技术

更新时间：2025-09-11

- PYROSOL薄膜淀积技术
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1998年第4期页码：3
- 作者机构：
  
  中国科学院上海硅酸盐研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： O484.1
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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黄安荣. PYROSOL薄膜淀积技术[J]. 传感器与微系统, 1998,(4):3.
黄安荣. PYROSOL薄膜淀积技术[J]. 传感器与微系统, 1998,(4):3. DOI：

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摘要

介绍了一种新的膜淀积技术－ＰＹＲＯＳＯＬ技术的原理和方法，总结了一些化合物薄膜的制备条件。给出了Ｆｅ２Ｏ３、ＺｒＯ２薄膜生长的影响因素。还介绍了ＳｉＯ２膜的ＰＹＲＯＳＯＬ溶胶———凝胶制备方法。

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