基体对SnO<sub>2</sub> UPF成膜结构的影响

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基体对SnO₂ UPF成膜结构的影响

更新时间：2025-09-11

- 基体对SnO₂ UPF成膜结构的影响
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- 传感器与微系统 1998年第4期页码：7
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  中图分类号： O484.1
- 纸质出版：1998
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基体对SnO₂ UPF成膜结构的影响[J]. 传感器与微系统, 1998,(4):7.
基体对SnO₂ UPF成膜结构的影响[J]. 传感器与微系统, 1998,(4):7. DOI：

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摘要

对不同基体上采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法（ＤＣ－ＧＤＡＲＥ）制备的氧化锡超微粒薄膜的晶相结构进行了分析。结果表明：不同的基体对此类薄膜的生长有极重要的影响作用。

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