扩散硅压力传感器工艺过程的FMECA分析

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扩散硅压力传感器工艺过程的FMECA分析

更新时间：2025-09-11

- 扩散硅压力传感器工艺过程的FMECA分析
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1998年第5期页码：12
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  电子工业部预研项目
- DOI：
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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扩散硅压力传感器工艺过程的FMECA分析[J]. 传感器与微系统, 1998,(5):12.
扩散硅压力传感器工艺过程的FMECA分析[J]. 传感器与微系统, 1998,(5):12. DOI：

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摘要

通过将扩散硅压力传感器的每一道工序作为“部件或元件”，构成“工艺”的可靠性框图，进行ＦＭＥＣＡ分析；指出了各个工艺所产生的失效模式、失效原因、失效效应和改进措施。

Abstract

关键词

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袁希光主编.传感器技术手册[M].国防工业出版社,1986.

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