硅微机械音叉陀螺检测灵敏度与固有频率的关系

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硅微机械音叉陀螺检测灵敏度与固有频率的关系

更新时间：2025-09-11

- 硅微机械音叉陀螺检测灵敏度与固有频率的关系
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- 传感器与微系统 1998年第1期页码：4
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  中图分类号： V241.5
- 纸质出版：1998
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硅微机械音叉陀螺检测灵敏度与固有频率的关系[J]. 传感器与微系统, 1998,(1):4.
硅微机械音叉陀螺检测灵敏度与固有频率的关系[J]. 传感器与微系统, 1998,(1):4. DOI：

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摘要

检测灵敏度直接关系到陀螺性能的优劣。并尝试用静电力调节敏感模态谐振频率，以提高检测灵敏度。

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