微型触觉传感器敏感单元的力学分析

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微型触觉传感器敏感单元的力学分析

更新时间：2025-09-11

- 微型触觉传感器敏感单元的力学分析
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- 传感器与微系统 1998年第2期页码：9
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金
- DOI：
  中图分类号： TP212.2
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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微型触觉传感器敏感单元的力学分析[J]. 传感器与微系统, 1998,(2):9.
微型触觉传感器敏感单元的力学分析[J]. 传感器与微系统, 1998,(2):9. DOI：

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摘要

通过对微型触觉传感器敏感单元的理论和有限元（ＦＥＭ）分析的对比，得出了Ｅ型方膜结构类型传感器的静态特性（变形、应力等）和动态特性（固有频率、振型等）。并讨论了静态和动态特性对结构的敏感性，为传感器的优化设计提供依据

Abstract

关键词

Keywords

references

贾伯年,俞　朴主编.传感器技术[M].东南大学出版社,1992.

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