应力集中式多晶硅薄膜压力传感器

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应力集中式多晶硅薄膜压力传感器

更新时间：2025-09-11

- 应力集中式多晶硅薄膜压力传感器
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- 传感器与微系统 1998年第3期页码：11
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  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1998
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应力集中式多晶硅薄膜压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1998,(3):11.
应力集中式多晶硅薄膜压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1998,(3):11. DOI：

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摘要

介绍一种以多晶硅薄膜为敏感材料的压力传感器。该传感器利用了双岛结构膜片的应力集中效应，灵敏度得到提高，且具有良好的线性度和过载能力。

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