微气体流量传感器

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微气体流量传感器

更新时间：2025-09-11

- 微气体流量传感器
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1998年第2期页码：16
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  电子部军品试制项目
- DOI：
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1998
- 稿件说明：
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微气体流量传感器[J]. 传感器与微系统, 1998,(2):16.
微气体流量传感器[J]. 传感器与微系统, 1998,(2):16. DOI：

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摘要

介绍了一种硅微桥结构热式流量传感器的结构和工作原理。采用单片机对传感器的输出信号进行处理，构成一个完整的测试系统，使系统具有定时、定量、测量、非线性补偿等功能。

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