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硅微机械振动陀螺的静电驱动
更新时间：2025-09-11

    • 硅微机械振动陀螺的静电驱动

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   1996年第1期 页码：3
    • 中图分类号： TP212

    • 纸质出版：1996

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  • 硅微机械振动陀螺的静电驱动[J]. 传感器与微系统, 1996,(1):3. DOI：

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